압력순환흡착법과 다공성 매체 연소법을 이용한 전자산업 불화가스 저감 스크러버 개발

정종국; 이기용; 이상곤; 이은미; 모선희; 이대근; 김승곤

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정종국 (글로벌스탠다드테크놀로지) 이기용 (글로벌스탠다드테크놀로지) 이상곤 (글로벌스탠다드테크놀로지) 이은미 (글로벌스탠다드테크놀로지) 모선희 (글로벌스탠다드테크놀로지) 이대근 (글로벌스탠다드테크놀로지) 김승곤 (한국에너지기술연구원)

저널정보: 한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제23권 제2호

발행연도: 2017.6

수록면: 181 - 187 (7page)

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반도체 및 디스플레이 산업에서 배출되는 과불화합물은 연소, 열, 플라즈마, 촉매 등의 다양한 방법이 적용된 스크러버에 의해 분해 과정을 거친 후 배출되나, 운영 스크러버의 대부분이 과도한 에너지의 사용, 낮은 저감 효율을 보임으로써 이러한 단점의 극복이 요구된다. 압력순환흡착법과 다공성 매체 연소법의 두 가지 기술이 연계된 새로운 형태의 과불화합물 저감스크러버를 개발하고 특성을 알아보았다. 분해 대상인 CF₄의 흡착비와 손실계수는 흡착 컬럼의 입구와 출구에서 농도 측정을 통해 계산하였으며, 연소기의 입구와 출구의 유량과 농도 측정을 통해 처리 효율을 계산하였다. 기존 스크러버와의 에너지 사용량 및 처리효율 비교를 위하여 다양한 유량에 대한 성능 평가가 진행되었다. 1412 ppm, 204 LPM의 CF₄가 유입된 흡착 컬럼에서의 흡착비는 1.65였으며, 유입되는 CF₄의 손실 계수는 8.2%였다. 이때 연소기로 유입되는 CF₄의 유량과 농도는각각 91 LPM과 2335 ppm이었으며, CH₄ 19 LPM, O₂ 40 LPM을 사용한 연소 반응시 약 96%의 저감 효율을 나타내었다. 상용스크러버와의 동일 운전 조건에서의 다공성 매체 연소에서의 CF₄ 저감 효율과 전체 에너지 사용 효율 비교시 각각 16%, 41% 이상의 저감 효율 상승과 에너지 절감 효과를 보였다.

#과불화합물 #압력 순환 흡착 #다공성 매체 연소 #분해 및 제거 효율 #Perfluorocompounds #Pressure swing adsorption #Porous media combustion #Destruction and removal efficiency

참고문헌 (13)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - Jee-Yon Lee / 2007 / Evaluation Method on Destruction and Removal Efficiency of Perfluorocompounds from Semiconductor and Display Manufacturing / Bulletin of the Korean Chemical Society 28 (8) : 1383 ~ 1388

[보고서] - Park, Y. K / 2004 / Waste Gas Treatment System for Semiconductor Process

[보고서] - Greenhouse Gas Inventory and Research Center / 2014 / National Greenhouse Gas Inventory Report of Korea

[기타자료] - Chung, J. K / 2016 / Device for Purifying Exhausted Gas from Chemical Vapor Deposition, Korea Patent No. 10-1617691

[학술지(정기간행물)] - Sung-Han Han / 2011 / Large Scale Treatment of Perfluorocompounds Using a Thermal Plasma Scrubber / 청정기술 17 (3) : 250 ~ 258

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이 논문의 저자 정보

정종국

소속기관 글로벌스탠다드테크놀로지

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 화학공학 > 화학공학 일반

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이기용

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