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차중원 (경기대학교) 김동원 (경기대학교) 조서현 (경기대학교) 이영종 (선익시스템) 김형민 (경기대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제42권 제11호(통권 제398호)
발행연도
2018.11
수록면
753 - 759 (7page)
DOI
10.3795/KSME-B.2018.42.11.753

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OLED 생산 공정 중 가장 핵심은, 증착에 사용될 유기물질을 가열하고 진공에 가까운 상태의 증착기 내부로 분사하여 유기물을 승화시켜 기판에 10~100 Å 두께로 증착시키는 공정이다. 승화된 유기물은 매우 낮은 압력을 유지하고 있어 매우 희박한 상태이며, 따라서 증착량은 유기물의 유동에 많은 영향을 받게 된다. 본 연구에서는 매우 낮은 압력을 유지하고 있는 진공증착기 안에서 희박한 압축성 유동 상태인 유기물의 유동해석을 통해서 증착률을 예측하고자, 크누센수의 2차 차수를 갖는 Karniadakis 미끄럼모델을 적용한 해석방법을 제안하였다. 유기물의 Karniadakis 미끄럼모델의 계수는 DSMC해석과 Navier-Stokes 방정식 해석결과 비교를 통해서 결정하였으며, 공개코드 OpenFoam의 buoyantSimpleFoam에 Karniadakis 미끄럼모델이 적용된 유동해석을 통해서 크누센와 증착기판의 위치변화에 따른 증착률 변화를 예측하였다.
#Compressible Flow(압축성 유동) #Slip-flow Region(미끄럼 유동영역) #Vacuum Deposition(진공증착) #Deposition Rate(증착률)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
He, Y.-L. and Tao, W.-Q., 2012, “Multiscale Simulations of Heat Transfer and Fluid Flow Problems,” J. Heat Transfer, Vol. 134, No. 3, 031018. Kwak, I.-C., Yang, Y.-S. Choi, B. H. and Kim, Y. M., 2009, “Analysis of Fluid Flow in the Linear Cell Source for Organic Semiconductor Thin Film Deposition,” J. Korean Society for Precision Engineering, Vol. 26, No. 10, pp. 74~80. Tung, F.-C., Wang, Y.-S., Lai, S.-H., Chen, C.-C., Chen, S.-H., Wang, C.-C., Jou, J.-H. and Chen, S.-Z., 2014, “OLED Fabrication by Using a Novel Planar Evaporation Technique,” Int. Journal of Photoenergy, Vol. 2014, Article ID 683037, 8 page. Karniadakis G. EM. and Beskok Ali, 2002, “Micro Flows : Fundamentals and Simulation,” Springer-Verlag New York Inc. OpenCFD Ltd (ESI Group), 2018, “OpenFOAM User Guide,” https://www.openfoam.com.

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