유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$Cl_2$-ICP를 이용한 Doped GaN 식각의 공정변수적 연구

임연호 ,  조범철 ,  박진수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

한윤봉 ,  최창선 ,  임연호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Growth Characteristics of GaN on Si(111) using AlN buffer layer

Jung ,  Sung-Hoon ,  Lee 외 11명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Cl₂/HBr,Cl₂/N₂ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 식각 공정시 발생하는 결함의 거동에 관한 연구

이영준 ,  황순원 ,  이주욱 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

AlN/PSS Template 위에 HVPE로 성장한 GaN 막의 특성

전대우 ,  손호기 ,  이영진 외 4명

전기전자재료학회논문지

2016 .01

AlN 완충층을 이용하여 Si 기판 위에 성장시킨 후막 GaN의 특성

이영주 ,  김선태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

R. F. Sputter법으로 성장된 AlN 완충층이 GaN 박막결함에 미치는 영향

이민수

전기전자재료학회논문지

2004 .01

ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각

박진수 ,  한윤봉 ,  이규철

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

AlN과 저온 GaN 완충층을 이용한 Si 기판상의 후막 GaN 성장에 관한 연구

백호선 ,  이정욱 ,  김하진 외 1명

한국재료학회지

1999 .01

ICL 렌즈 시술 후 나타나는 잔류난시에 대한 연구

김덕훈 ,  이동희

한국안광학회지

2008 .12

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발

Won-Ho Jang ,  Ho-Young Cha

한국정보통신학회논문지

2020 .02

The Influence of AlN Buffer Layer Thickness on the Growth of GaN on a Si(111) Substrate with an Ultrathin Al Layer

Hae-Yong Kwon ,  Jin-Young Moon ,  Min-Kun Bae 외 2명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2008 .05

HVPE법으로 AlN/Si 위에 성장한 GaN의 특성

이영주 ,  강현기 ,  박성철 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01