GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

한윤봉 ,  최창선 ,  임연호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Inductively Coupled chlorine-Based Plasma Etching of the GaN for Optoelectronic Device Application

Hyeon Soo Kim ,  Young Jun Lee ,  Geun Young Yeom

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

Characteristics of Be doped GaN growth using single GaN precursor

Gao ,  Cun-Xu ,  Yu 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구

유관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발

Won-Ho Jang ,  Ho-Young Cha

한국정보통신학회논문지

2020 .02

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )

윤관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

In 코도핑 된 p-GaN의 광학적 특성

안명환 ,  정호용 ,  정상조

한국재료학회지

2008 .01

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in Cl₂/BCl₃plasmas

Y.H. Lee ,  Y.J. Sung ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  沈鍾庚 ,  太興植 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

정석용 ,  박철희 ,  김성대 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

MBE 를 이용한 성장조건에 따른 Mg-doped GaN 특성변화 조사

최아리 ,  김도진

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각

박진수 ,  한윤봉 ,  이규철

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

GaN 박막의 활용을 위한 Metal/GaN 접촉과 GaN MESFET의 전기적 특성에 관한 연구

강이구 ,  강호철 ,  이정훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

$Cl_2$, ICl 및 IBr 유도병합 플라즈마를 이용한 InN/AlN/GaN 계의 선택적 식각

한윤봉 ,  임연호 ,  조범철 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각에서 공정 변수가 저항성 접촉 형성에 미치는 영향

金文永 ,  太興植 ,  李昈駿 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .08