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LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1992 .07
SiH₄ 가스의 에너지 분포함수 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( Thermal Analysis of the Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 논문집 B권
1998 .05
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
LPCVD 및 PECVD 시스템
전자공학회잡지
1983 .10
SiH₄-H₂계에서 유체유동이 Si의 화학증착에 미치는 영향
한국표면공학회지
1990 .09
저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
LPCVD 법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성 ( The Structural and Electrical Properties of LPCVD Amorphous and Polycrystalline Silicon Film )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
LPCVD법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
SiH₄ 플라즈마중의 전자수송특성 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
In-Situ Phosphorus Doping on Si1-xGex Epitaxial Growth in the SiH4-GeH4-PH3 Gas System by Using LPCVD
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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