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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임종민 (인하대학교 공과대학 금속공학과) 최균석 (인하대학교 공과대학 금속공학과) 이종무 (인하대학교 공과대학 금속공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제12권 제1호
발행연도
2002.1
수록면
82 - 88 (7page)

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Chromium carbide films were deposited on high speed steels using a Cr_3C_2$ target by magnetron sputtering. Effects of the deposition parameters (power, Ar pressure and substrate temperature) on deposition rates and surface roughnesses of the films were investigated. The morphologies of those films were characterized by scanning electron microscopy and atomic force microscopy. The grain size of the samples deposited using dc-power is larger than that using equivalent rf-power. The hardness of the sample increases with increasing rf-power, whereas the elastic modulus nearly does not change with rf-power. The optimum sputter deposition conditions for chromium carbide on high speed steels in the corrosion resistance aspect were found to be the rf-power with small roughness.
#chromium carbide #sputtering #hard coatings

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