진공증착기의 새로운 BOAT CONTROL 방식

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새로운 저항가열 보트컨트롤 방식은 증착공정의 가격을 절하시키면서 증착 품질은 월등히 향상시킬 것이다. 심지어는 지금까지의 기존 저항 가열방식으로는 성공할 수 없었던 금$\cdot$은 사용으로도 적용할 수 있는 새로운 세상을 열게 될 것이다.

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WIRTH KARLHEINZ

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주요연구분야 공학 > 기타공학 > 기타 공학

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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