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자료유형
학술저널
저자정보
손현기 (한국기계연구원) 이제훈 (한국기계연구원) 정용운 (한국기계연구원) 김상인 (고등기술연구원) 한재원 (연세대학교)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제11권 제2호
발행연도
2008.1
수록면
33 - 38 (6page)

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Laser micromachining has increasingly been adopted in various advanced industries where the high-precision machining of large-area, high-density and multi-layered components is in a strong demand. To effectively meet the requirements, the laser micromachining process must be carefully monitored. In order to facilitate the development of a new laser micromachining process and/or a new system, we have fabricated a UV laser micromachining platform that is equipped with optical modules for monitoring the process online. They include a laser power stabilizing module, a module for laser-induced breakdown spectroscopy, and an auto-focusing module.
#Laser power stabilization #laser-induced breakdown spectroscopy #LIBS) #auto-focusing #AF)

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