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신소민 (부산대학교) 이기훈 (부산대학교) 이동환 (부산대학교) 정선호 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2019.5
수록면
208 - 208 (1page)

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#CMP(Chemical Mechanical Planarization) #Interlayer dielectric #Pattern density #Pattern size #Pad asperity

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