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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.9
- 수록면
- 1 - 7 (7page)
- DOI
- 10.5762/KAIS.2022.23.9.1
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바나듐 옥사이드는 저렴한 가격과 높은 이론적 전기용량 및 독특한 특성으로 인하여 고성능 리튬이온전지의 양극소재, 고감도 가스센서 감지물질 및 68 ℃에서 가역적인 금속-절연체 상전이 특성을 갖는 써모크로믹 소재로서 스마트 윈도우 물질로 많은 주목을 받아왔다. 나노구조의 물질은 높은 유효표면적을 갖기 때문에 고성능 리튬이온전지 및 고감도 가스센서에 적용되어왔다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 공정에서 산소가스 분압에 따른 오산화 바나듐 나노구조물의 표면형상 변화를 조사하였다. 바나듐 옥사이드 나노구조물은 200 ℃에서 1시간 동안 200 watt로 다양한 산소가스 분압하에서 Si 기판(Si\SiO₂(300 nm)) 위에 증착되었다. 바나듐 옥사이드 나노구조물의 표면형상을 전계방출형 주사전자현미경으로 분석하였고, 결정학적 특성을 X선 회절법(XRD) 및 Raman 분광학으로 분석하였다. 연구결과, 증착된 모든 바나듐 옥사이드 나노구조물은 α-V₂O<SUB>5</SUB> 상을 가지고 있었다. 또한 산소가스 분압이 감소할수록 수직으로 정렬된 나노구조물의 밀도는 증가하였다. 높은 표면적 특성을 갖는 3D α-V₂O<SUB>5</SUB> 나노구조물은 고성능 리튬이온전지 및 가스센서 제작에 응용될 수 있을 것으로 기대된다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (23)
참고문헌 신청
E. Brown, J. Acharya, G. P. Pandey, J. Wu, J. Li, "Highly Stable Three Lithium Insertion in Thin V2O5 Shells on Vertically Aligned Carbon Nanofiber Arrays for Ultrahigh-Capacity Lithium Ion Battery Cathodes", Adv. Mater. Interfaces , Vol.3, #1600824, 2016. DOI: https://doi.org/10.1002/admi.201600824
C. Navone, R. Baddour-Hadjean, J. P. Pereira-Ramos, R. Salot, "High-Performance Oriented V2O5 Thin Films Prepared by DC Sputtering for Rechargeable Lithium Microbatteries", Journal of The Electrochemical Society , Vol.152, No.9, pp.1790-A1796, 2005. DOI: https://doi.org/10.1149/1.1990160
H. K. Park, "The Research and Development Trend of Cathode Materials in Lithium Ion Battery", Journal of the Korean Electrochemical Society , Vol.11, No.3 pp.197-210, 2008. DOI: https://doi.org/10.5229/JKES.2008.11.3.197
D. Tang, L. Ben, Y. Sun, B. Chen, Z. Yang, L. Gu, X. Huang, "Electrochemical behavior and surface structural change of LiMn2O4 charged to 5.1 V", Journal of Materials Chemistry A, Vol. 2, No. 35, pp. 14519-14527, 2014. DOI: https://doi.org/10.1039/C4TA02109F
H. Zheng, L. Chai, X. Song, V. Battaglia, "Electrochemical cycling behavior of LiFePO4 cathode charged with different upper voltage limits", Electrochimica Acta , Vol.62, pp.256-262, 2012. DOI: https://doi.org/10.1016/j.electacta.2011.12.019
C. Navone, R. Baddour-Hadjean, J. P. Pereira-Ramos, R. Salot, "High-Performance Oriented V2O5 Thin Films Prepared by DC Sputtering for Rechargeable Lithium Microbatteries", Journal of The Electrochemical Society , Vol.152, No.9, pp.1790-A1796, 2005. DOI: https://doi.org/10.1149/1.1990160
H. K. Park, "The Research and Development Trend of Cathode Materials in Lithium Ion Battery", Journal of the Korean Electrochemical Society , Vol.11, No.3 pp.197-210, 2008. DOI: https://doi.org/10.5229/JKES.2008.11.3.197
D. Tang, L. Ben, Y. Sun, B. Chen, Z. Yang, L. Gu, X. Huang, "Electrochemical behavior and surface structural change of LiMn2O4 charged to 5.1 V", Journal of Materials Chemistry A, Vol. 2, No. 35, pp. 14519-14527, 2014. DOI: https://doi.org/10.1039/C4TA02109F
H. Zheng, L. Chai, X. Song, V. Battaglia, "Electrochemical cycling behavior of LiFePO4 cathode charged with different upper voltage limits", Electrochimica Acta , Vol.62, pp.256-262, 2012. DOI: https://doi.org/10.1016/j.electacta.2011.12.019
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