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구리 CMP 공정에서 온도가 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
관 내 슬러리의 이상유동 해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .11
CFD 어디까지 해 봤니?
대한조선학회지
2022 .09
슬러리 사용 저감을 위한 중심부 주입 폴리싱 공정 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
화학적기계연마 공정에서 연한 연마패드 표면 구조의 기계적 역할에 대한 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
탄화규소(SiC)의 연마시 슬러리 온도 변화에 따른 재료제거율 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
CFD를 이용한 교실 및 체육관의 PM2.5 분포 특성 비교
한국생태환경건축학회 학술발표대회 논문집
2020 .12
전기화학-기계적 연마 장치의 회전속도에 따른 전해액 유동 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
슬러리의 파이프 유동특성과 연구개발 현황
대한토목학회지
2015 .10
다중 슬러리 분사시 노즐별 온도 제어를 통한 연마균일도 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
오픈소스 코드를 이용한 통합 전산유체역학 환경 구축
융합보안논문지
2018 .01
이트리아 박막 조도 개선 공정을 위한 화학적 기계적 연마 슬러리 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
3차원 2상 유동에서 상용 CFD 소프트웨어의 해석결과에 대한 정량적 비교
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2021 .05
CFD해석 및 실험을 활용한 선풍기의 날개에 따른 유동특성 연구
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2019 .07
화학 기계적 연마에 의한 탄화규소(SiC)의 표면 거칠기 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
전기화학기계적 연마용 슬러리의 전기화학적 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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