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Hydride vapor phase epitaxy에 의한 후막 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .08
HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N₂ 양의 변화에 따른 AlN 단결정의성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .04
나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
PVT 법으로 성장된 AlN 단결정의 열처리 공정에 대한 연구
한국결정성장학회지
2017 .01
6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
열처리에 따른 AlN 단결정의 결정성에 관한 연구
한국결정성장학회지
2017 .06
AlN 단결정 성장에 대한 반복 성장성에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장
한국결정성장학회지
2017 .01
투과전자현미경과 전자후방산란회절을 이용한 AlN의 미세구조 분석
한국결정성장학회지
2015 .01
직경 3인치의 AlN 단결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2019 .01
6H-SiC 기판 위에 혼합소스 HVPE 방법으로 성장된 AlN 에피층 특성
한국결정성장학회지
2020 .01
PVT법에 의한 AlN 단결정 성장에서 Hot-Zone 의존성
한국결정성장학회지
2016 .01
PVT법을 이용한 (011)면으로 성장된 AlN 단결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2015 .01
AlN/PSS Template 위에 HVPE로 성장한 GaN 막의 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
PVT 법으로 성장 된 bulk AlN 단결정의 열 산화 공정에 관한 연구
한국결정성장학회지
2020 .01
혼합소스 HVPE 방법에 의한 전력 반도체 소자용 p형 AlN 에피층 성장
한국결정성장학회지
2019 .01
Atomic Layer Deposition of AlN Thin Films on GaN and Electrical Properties in AlN/GaN Heterojunction Diodes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2020 .01
HVPE 법에서의 공정변수 조절에 의한 bulk GaN 단결정의 두께 최적화
한국결정성장학회지
2017 .01
HVPE법을 활용한 GaN 성장시 질화처리에 관한 연구
한국결정성장학회지
2019 .01
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