지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.8
- 수록면
- 172 - 177 (6page)
- DOI
- 10.7735/ksmte.2024.33.4.172
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
In this study, the temperature within a CVD chamber at 10 Torr was numerically investigated using Computational Fluid Dynamics (CFD). A detailed threedimensional (3D) representation of the chamber illustrates the deposition due to CVD on the showerhead and chamber walls. In this study, the changes in the average temperature and temperature variation of a wafer, when the surface emissivity changes due to this deposition, are examined. Additionally, the effects of varying the process gap, which is the distance between the wafer and showerhead, on the temperature distribution of the wafer are analyzed. Based on these analyses, in this study, specific process variables are proposed to optimize the average temperature and temperature uniformity of the wafer. Finally, methods to mitigate the impact of changes in emissivity and ensure consistent wafer quality are proposed.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 수치해석 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화
한국가시화정보학회지
2015 .12
-
반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
-
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2015 .01
-
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
-
반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론
대한산업공학회지
2015 .06
-
Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
-
CVD Chamber의 Gas 확산에 대한 수치해석적 연구
한국생산제조학회지
2024 .08
-
웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
-
합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지
대한산업공학회지
2018 .08
-
Flow analysis for fan-in/fan-out wafer level package coating process
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
-
LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 균일도 분석
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2016 .04
-
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
-
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
-
두께 균일도 향상을 위한 LPCVD 챔버 내 웨이퍼 온도 분포 분석
한국가시화정보학회지
2016 .08
-
구조 안정성 향상을 위한 Wafer Grinder의 설계 개선
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
-
다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발
Proceedings of KIIT Conference
2022 .06
-
척-웨이퍼 시스템의 제열성능 최적화를 위한 열 모델링에 대한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2020 .11
-
Integrated Process Sequence of Epitaxy Silicon Wafer Production Using Plasma-Enhanced CVD
AFORE
2023 .11
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-151-24-02-090259568