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CMP개론 및 현황
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
구리 CMP 후 연마입자 제거에 버프 세정의 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .11
CMP특성과 온도의 상호관계에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .10
CMP장비 세정용 브러쉬의 압력 분포 측정
한국가스학회 학술대회논문집
2014 .11
인쇄회로기판 이후 세정 공정의 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2014 .10
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
웨이퍼 궤적 시뮬레이션에 의한 CMP 균일도 향상 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
초음파를 이용한 Metal CMP의 Conditioning에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
반도체 CMP공정에서의 웨이퍼 표면결함 생성 메커니즘에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2012 .04
Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2007 .01
패턴 밀도에 따른 CMP 공정에 따른 연구
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
CMP 공정 후 PCB세정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .04
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구 ( Optimizations for Oxide CMP Processes )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
Oxide CMP 공정의 최적화에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .06
CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
대한기계학회 논문집 A권
2004 .11
CMP공정에서의 종점 검출 기술 현황
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .05
지상 공개 강좌-광학소자 가공방법(연마 편)-CMP와 그 응용
광학세계
2008 .01
CMP공정에서 점탄성거동을 통한 웨이퍼상의 압력분포 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
산화막 CMP 에서 압력조건이 웨이퍼 가장자리 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
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