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학술저널
저자정보
Joon Ho Bang (부산대학교) Se Hun Park (부산대학교) Sang Hyun Cho (대구테크노파크) Pung Keun Song (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제43권 제4호
발행연도
2010.8
수록면
194 - 198 (5page)

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Indium doped zinc oxide films (ZIO) were deposited on non-alkali glass substrates by radio frequency (RF) magnetron sputtering at room temperature. The structural, electrical and optical properties of the ZIO films were investigated as a function of their In₂O₃ content (3.33-15.22 wt%). The ZIO films deposited with an In₂O₃ content of 9.54 wt% showed a relatively low resistivity of 9.13×10<SUP>?4</SUP> Ω㎝ and a highly c-axis preferred orientation. The grain size and FWHM were mainly affected by the In₂O₃ content. The crystallinity and resistivity were enhanced with increasing grain size. The average transmittance of the ZIO films was over 85% in the visible region and their band gap varied from 3.22 to 3.66 eV depending on their doping ratio.
#ZnO #ZIO #TCO #RF magnetron sputtering

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusions
Acknowledgement
References

참고문헌 (15)

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1. [학술지(정기간행물)] - P. Prathp / 2008 / / C. Appl. Phys. : 8 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - S. S. Lin / 2005 / / Mater. Chem. Phys. 90 : 22 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. H. Jeong / 2004 / / C. Appl. Phys 4 : 655 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. H. Mohamed / 2006 / / J. Phys. Chem. Solids. 67 : 2351 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - M. Kon / 2002 / / Jpn. J. Appl. Phys. 41 : 6174 ~ google schola

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