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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.9
- 수록면
- 220 - 225 (6page)
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본 논문은 전류 센싱 FET가 내장되어 있고 온-저항이 낮으며 고전류 구동이 가능한 트렌치 게이트 고 전력 MOSFET를 제안하고 전기적 특성을 분석하였다. 트렌치 게이트 전력 소자는 트렌치 폭 0.6 ㎛, 셀 피치 3.0 ㎛로 제작하였으며 내장된 전류 센싱 FET는 주 전력 MOSFET와 같은 구조이다. 트렌치 게이트 MOSFET의 집적도와 신뢰성을 향상시키기 위하여 자체 정렬 트렌치 식각 기술과 수소 어닐링 기술을 적용하였다. 또한, 문턱전압을 낮게 유지하고 게이트 산화막의 신뢰성을 증가시키기 위하여 열 산화막과 CVD 산화막을 결합한 적층 게이트 산화막 구조를 적용하였다. 실험결과 고밀도 트렌치 게이트 소자의 온-저항은 24 mΩ, 항복 전압은 100 V로 측정되었다. 측정한 전류 센싱 비율은 약 70 정도이며 게이트 전압변화에 대한 전류 센싱 변화율은 약 5.6 % 이하로 나타났다.
목차
Abstract
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 소자 구조 및 제작
Ⅲ. 전기적 특성 분석
Ⅳ. 결론
References
참고문헌 (8)
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[학술지(정기간행물)] - M. H. Juang / 2004 / Fabrication of trench-gate power MOSFETs by using a dual doped body region / Solid-State Electronics 48 (7) : 1079 ~ 1085
[학술지(정기간행물)] - 노영환 / 2013 / Structure Modeling of 100 V Class Super-junction Trench MOSFET with Specific Low On-resistance / 전기전자학회논문지 17 (2) : 129 ~ 134
[학술지(정기간행물)] - Neil Zhao / 2012 / High-Side Current Sensing with Wide Dynamic Range: Three Solutions / Digest of Analog Dialogue 44 : 1 ~ 5
[학술지(정기간행물)] - Hai-Feng Jin / 2010 / High Performance Current Sensing Circuit for Current-Mode DC-DC Buck Converter / Transactions on Electrical and Electronic Materials 11 (1) : 24 ~ 28
[학술지(정기간행물)] - 박준수 / 2013 / ESD 보호 소자를 탑재한 Peak Current-mode DC-DC Buck Converter / 전기전자학회논문지 17 (1) : 77 ~ 82
[학술지(정기간행물)] - 노영환 / 2013 / Structure Modeling of 100 V Class Super-junction Trench MOSFET with Specific Low On-resistance / 전기전자학회논문지 17 (2) : 129 ~ 134
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