지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
직류 및 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 HfN 코팅막의 미세구조 및 기계적 물성연구
한국표면공학회지
2020 .04
DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Improvement on Plasma Intensity Uniformity in Rectangular DC Magnetron Sputter by Optimizing Structures of Substrate Electrode
한국생산제조학회지
2023 .04
A Study on the standardize the characteristic evaluation of DC magnetron sputtered silver coatings for engineering purposes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Real-time monitoring for detecting an abnormal arc discharge in DC magnetron sputter using OES
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .10
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .10
Control uniformity of plasma on target of DC magnetron sputter based on magnetic field simulation
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Comparative properties of titanium vanadium nitride films deposited by direct current, mid-frequency, and inductively coupled plasma magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
시이퀀스 제어회로에서 최적배선공법의 적용에 관한 연구
정보 및 제어 논문집
2015 .10
Magnetron sputtering의 Plasma Duty Ratio에 따른 a-IGZO 산화물 반도체 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
0