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PVT 법으로 성장된 AlN 단결정의 열처리 공정에 대한 연구
한국결정성장학회지
2017 .01
Etch Mechanism of AlN Thin Film in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2022 .10
단결정 AlN의 미세구조 분석 및 어닐링 공정이 결정성에 미치는 영향
한국결정성장학회지
2018 .01
열처리에 따른 AlN 단결정의 결정성에 관한 연구
한국결정성장학회지
2017 .06
6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
투과전자현미경과 전자후방산란회절을 이용한 AlN의 미세구조 분석
한국결정성장학회지
2015 .01
HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N₂ 양의 변화에 따른 AlN 단결정의성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .04
Hydride vapor phase epitaxy에 의한 후막 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .08
SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
AlN 단결정 성장에 대한 반복 성장성에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
PVT법에 의한 AlN 단결정 성장에서 Hot-Zone 의존성
한국결정성장학회지
2016 .01
PVT법을 이용한 (011)면으로 성장된 AlN 단결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2015 .01
직경 3인치의 AlN 단결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2019 .01
Development of apparatus for Single-sided Wet Etching and its applications in Corrugated Membrane Fabrication
센서학회지
2021 .01
HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 온도 변화에 따른 AlN 단결정의 성장 형상에 관한 연구
한국결정성장학회지
2024 .02
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
PVT(Physical Vapor Transport) 법으로 AlN 결정 성장에서 결정립의 성장 거동에 관한 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
PVT 법으로 성장 된 bulk AlN 단결정의 열 산화 공정에 관한 연구
한국결정성장학회지
2020 .01
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
AlN 단결정 성장에 관한 도가니 형태의 의존성에 관한 연구
한국결정성장학회지
2015 .01
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