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LiTaO₃ 초박판화를 위한 CMP 슬러리 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
LiTaO₃ CMP에서 슬러리 구성요소에 따른 재료제거 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
LiTaO₃ 기판 CMP 슬러리 내 킬레이트제에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
LiTaO₃ 웨이퍼 그라인딩과 CMP 에서의 표면 손상층에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
CMP 공정에서 슬러리 분사 주입에 따른 슬러리 막 형성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
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