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정선호 (부산대학교) 박병준 (부산대학교) 김현진 (부산대학교) 정해도 (부산대학교)
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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2018.5
수록면
31 - 31 (1page)

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#CMP #Package substrate #Edge-over-erosion #Pattern size #Slurry additives

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